X 射线光电子能谱 (XPS)，也被称为化学分析电子能谱 (ESCA)，是分析材料表面化学性质的一项技术。 XPS 可测量材料中元素组成、经验公式、元素化学价态和电子态。 用一束 X 射线激发固体表面，同时测量被分析材料表面 1-10 nm 内发射出电子的动能，而得到 XPS 谱。 通过对激发出的超过一定动能的电子进行计数，可以得到光电子谱。 光电子谱中出现的谱峰为原子中发射的一定特征能量电子。 光电子谱峰的能量和强度可用于定性和定量分析所有表面元素（氢元素除外）。

仪器参数：

1、极限能量分辨率：0.43eV

2、分析室真空度优于5×10-10 mbar

3、能量分析范围：0-5000eV

4、通过能范围：1-400eV

5、固体样品的表面成分分析、化学态分析，取样深度一般约为1-10nm,其中金属材料为0.5-3nm，无机材料2-4nm，有机高聚物5-10nm。

K-Alpha 重要特征和优势：

1、Al Kα X射线 单色器可用于化学态高分辨分析

2、微聚焦X射线探针可用于绝缘材料的分析

3、先进的光学观察系统可用于对中样品上微小结构和污染点分析位置

4、聚焦深度剖析离子源可用于单层和多层膜分析

5、一键式中和系统可用于精确的小面积分析

6、128通道探测器用于快速并行快照式采集数据

  样品要求

所有样品需要满足无毒、无腐蚀性、无放射性、无挥发性，生物或者微生物需保证无人体致病性，签订生物安全承诺书。

1、粉末测试需要量一般需要10毫克（测试前有效取出的质量），样品需干燥; 粉末样品不支持回收

2、固体块状样品尺寸应小于5*8mm，厚度尽量低于4mm，表面须平整，样品需干燥

3、液体样须自行制样

4、材料必须是无放射性、无毒性、无挥发性物质(如单质Na, K, S, P, Zn, Se, As, I, Te, Hg等)

5、元素窄谱如果有特殊要求请备注，如果没有特殊说明，默认测试最强峰，如果最强峰和其他元素的峰有重叠，默认测试次强峰

6、小于2%的元素可能测不出明显信号；UPS测试需要足量样品，能铺成三到六毫米的薄层

UPS:要求样品导电或半导体，无磁性，块体或薄膜，表面平整，无污染，薄膜附着性要好，不容易脱落，粉末尽可能磨细，做成薄膜，万用表测电阻＜10MΩ（最差30MΩ），样品大小；ITO、玻璃衬底5*10mm，导电衬底5*5mm；制样到比较硬的金属或者硅片上 

  检测项目

1、 测试元素的价态及半定量分析（H，He元素除外）；

2、 可以测试俄歇谱、价带谱；

3、稀土类元素需要提供测试范围，与仪器默认的范围会有偏差，如果不提供而导致数据不完整，则不在售后处理范围之内。

4、 可以对样品进行氩离子清洁、刻蚀，（刻蚀深度和收费标准需要视情况而定，可进行咨询）。

5、含铁钴镍的样品默认为磁性样品

6、粉末样品只能刻蚀10s之内(约2.9nm)

7、如果样品不含碳 或者表面易吸附，可选择“氩离子清洗+常规测试”，测试效果相对较好

测试参数设置包括：

1、具体测试元素

2、元素特定测试范围

3、结果中原子含量所包含的元素

  结果展示